SPIN200x 高質量基底旋涂機可實現精準且可重復的工藝控制。其材質為天然聚丙烯（NPP）或具有耐化學性的聚四氟乙烯（PTFE）。這款經過充分驗證的機型推出了新版本，分為標準版和高級版。它非常適合處理各種基底，包括直徑最大200毫米的圓形基底或尺寸為150×150毫米的方形樣品。
的外殼與排水設計便于在桌面式和內置式機型之間切換。模塊化設計使用戶能通過多種不同配件升級設備，從而簡化分配操作及整體處理流程。
SPINx 系列配備液體過濾捕集器，用于保護旋涂機的關鍵部件。它能將通過處理腔室或真空卡盤進入真空管路的所有液體或抗蝕劑收集到液體容器中。通過旋涂機外殼上的開口可查看該容器，便于維護。
蓋子可通過用戶界面或腳踏板（非常適合手套箱環境使用）自動打開和關閉。此外，還能在工藝配方的最后一步自動打開蓋子。
新款 SPINx 系列能夠設定電機回零位置，便于集成到機器人控制 / 自動化環境中。
液體過濾捕集器
自動蓋子（高級版還可通過腳踏板控制）
可編程電機回零位置
用于注射器或分配噴嘴的中心注射支架
用于用戶安全的蓋子鎖和真空傳感器
大尺寸（可拆卸）觸摸顯示屏
用于在 USB 驅動器上存儲配方和進行軟件更新的 USB 端口
驅動單元規格：間接式無刷驅動單元，最高 12,000 轉 / 分；高加速度與精度，1-30,000 轉 / 分；順時針 / 逆時針旋轉及 puddle 模式；可在桌面式和內置式機型之間切換的設計
適用工藝：
涂層
清潔
漂洗 / 干燥
顯影
蝕刻
PDMI 及其他工藝
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