Beneq Prodigy™ ALD原子層沉積系統

Beneq Prodigy™ ALD原子層沉積系統是VCSEL、LED和MEMS制造商及代工廠的理想制造解決方案，旨在通過一款經濟實惠的獨立ALD批處理工具提升器件性能和可靠性。Beneq Prodigy™ ALD原子層沉積系統提供多種晶圓類型和尺寸的鈍化和/或封裝薄膜。

價值                                         

優良技術以更低的價格。Prodigy為化合物半導體和MEMS制造市場帶來了經濟性、產能和可靠性方面的獨特突破。

簡潔性                          

有更多時間思考解決方案。Prodigy通過自動裝載、水平晶圓搬運以及簡便的維護和維修，側面輕松取用，提供了純粹的簡便性。

創新                                

制定新的標準。該工具為利用ALD實現價格合理、大規模生產化合物半導體和MEMS器件樹立了全新標準。我們采用Beneq超過15年積累的簡單自動化和可靠的反應器設計，為優良應用領域提供成熟成果。

FAB準備

Beneq Prodigy兼容無塵室，支持SECS/GEM通信能力，并符合最高標準的SEMI S2標準。