原子層沉積設(shè)備ALD

物理氣相沉積設(shè)備PVD

化學(xué)氣相沉積設(shè)備CVD

外延設(shè)備

刻蝕設(shè)備Etch

光刻設(shè)備

離子注入設(shè)備

退火爐

氣體測量控制

濕法設(shè)備WET

長晶爐設(shè)備PVT

氧化擴散設(shè)備Furnace

移載傳送設(shè)備Indexer

紫外線固化爐UV Cure

輔助設(shè)備

透射顯微鏡

掃描顯微鏡

光學(xué)顯微鏡

NMR波譜分析儀器

質(zhì)譜分析儀器

X-Ray分析儀器

色譜分析儀器

光譜分析儀器