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    目錄:安徽澤攸科技有限公司>>光刻機>> ZEL304G電子束光刻機

    電子束光刻機

    • 電子束光刻機
    參考價 面議
    具體成交價以合同協議為準
    參考價 面議
    具體成交價以合同協議為準
    • 品牌 ZEPTOOLS/澤攸科技
    • 型號 ZEL304G
    • 廠商性質 生產商
    • 所在地 銅陵市
    屬性

    >

    更新時間:2026-02-09 10:51:15瀏覽次數:63評價

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    澤攸科技ZEL304G電子束光刻機(EBL)是一款高性能、高精度的光刻設備,專為半導體晶圓的高速、高分辨率光刻需求設計。該系統采用優良的場發射電子槍,結合一體化的高速圖形發生系統,確保光刻質量優異且效率高。

    標配的高精度激光干涉樣品臺能夠滿足大行程高精度拼接和套刻需求,為復雜實驗和生產任務提供可靠支持。其核心優勢在于成像能力和靈活的掃描模式,可實現多種矢量掃描方式,包括順序掃描、循環掃描和螺旋型掃描,同時支持多圖層自動曝光與場校準功能,滿足多樣化的工藝要求。此外,設備兼容多種圖形文件格式,并可通過選配附件(如UPS不間斷電源和主動減震臺)進一步提升運行穩定性。無論是新材料研究、前沿物理探索,還是半導體、微電子、光子學及量子技術領域的應用,ZEL304G均表現出色,是科研與工程領域的理想選擇。

     產品特色

    ▲ 激光干涉樣品臺:激光干涉樣品臺,滿足大行程高精度拼接和套刻需求

    ▲ 場發射電子槍:高分辨場發射電子槍是光刻質量的重要保證

    ▲ 圖形發生器:在保證超高速掃描的同時實現超高分辨率圖案繪制


     應用案例

    電子束光刻機

    ▲均勻性測試

    電子束光刻機

    ▲場拼接(游標卡尺測量)和最小線寬測試

    電子束光刻機

    ▲HSQ膠

    電子束光刻機

    ▲PMMA膠

    電子束光刻機

    ▲厚膠測試

    電子束光刻機

    ▲長光柵無縫拼接

    電子束光刻機
    電子束光刻機

    ▲電子束鄰近效應校正功能 · 劑量校正效果


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