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宮崎科技（廈門）有限公司
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袁蘭香
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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 樣品處理 | 廢氣處理 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品/農產品,化工,電氣 |
| 序列號 | 137，1703，2088 |
G5型得益于荏原獨特的廢氣處理技術，有著處理性能優(yōu)秀、安全性高和使用壽命長等優(yōu)點。分為最大氣體流量 600L/min和1200L/min兩種類型。適用于半導體制造過程中如TEOS等含有Si源的可燃氣體的大流量廢氣處理
產品介紹
日本EBARA大流量廢氣處理設備G5-1200-A1~A6
日本EBARA大流量廢氣處理設備G5-1200-A1~A6
G5型得益于荏原獨特的廢氣處理技術，有著處理性能優(yōu)秀、安全性高和使用壽命長等優(yōu)點。分為最大氣體流量 600L/min和1200L/min兩種類型。適用于半導體制造過程中如TEOS等含有Si源的可燃氣體的大流量廢氣處理.
特點
比普通G5型更高的流量規(guī)格;
進氣口從4個增加到6個;
標配副產物清除功能(燃燒器部分)，可用性更高;
標配自動除粉功能(儲氣罐部分)，大幅延長維護周期;根據處理氣體的類型和量按需運行(能耗自動變化)，可降低運行成本。
型
EBARA G5-600-A1~A6 是荏原 G5 系列大流量燃燒 + 濕式廢氣處理設備，最大處理氣量600 L/min，專為半導體、面板、光伏等行業(yè)的PFCs、酸性、可燃性工藝廢氣設計。
一、型號含義
G5：系列代號（燃燒 + 濕式處理）
600：最大進氣量 600 L/min
A1~A6：標準配置細分（A 系列為非防爆）
P1~P6：同規(guī)格防爆 / 特殊配置版本
A1~A6 配置差異
A1：基礎標準型（城市煤氣）
A2：基礎標準型（丙烷氣）
A3：增強耐腐型（特殊材質，適配強酸性廢氣）
A4：高配型（自動清洗 + 遠程監(jiān)控）
A5：超大流量優(yōu)化型（600 L/min 滿負荷穩(wěn)定運行）
A6：定制集成型（含預處理 / 后處理模塊）
典型應用場景
半導體蝕刻、CVD、擴散工藝集中排氣
液晶 / OLED 面板制程大流量廢氣
太陽能電池、LED 生產 PFCs 與酸性氣體處理
多機臺共用的中央廢氣處理系統(tǒng)
