飛秒激光直寫

飛秒激光直寫_FSD：專注于飛秒激光在多種硬脆體材料中的高精度圖形化加工。具備三維矢量路徑全行程速度、能量實時調制加工能力。具備加工光斑整形能力，支持通過導入任意圖形進行材料表面或內部的三維與二維加工。

飛秒激光直寫_FSD配置參數

飛秒激光器：

1）平均功率：20W/10W/6W

2）重復頻率：1Hz~1MHz可調

3）最小脈沖寬度：＜300fs

4）最大單脈沖能量：200μJ@1KHz，1030nm（其他模式可選配）

5）中心波長：1030nm

6）二倍頻輸出波長：515nm

7）三倍頻輸出波長：343nm（選配）

光學系統：

1）能量調節器：調節范圍覆蓋0.5%~99%

2）照明模塊：反射科勒照明/透射科勒照明

3）成像相機：大于500萬像素

4）物鏡：60×浸油物鏡，20×空氣物鏡。（其他物鏡可選配）

5）選配功能模塊：掃描振鏡，空間光調制器，焦面自動跟蹤模塊，二維電動狹縫

多功能工件臺：

1）三點式二維調平：單點調節范圍≥5mm； 單點調節分辨率≤50nm

2）大面積樣品加工工位：透明玻璃吸附臺，支持4英寸樣品加工

3）光纖光柵加工工位：有效加工范圍，大于10mm

4）選配功能模塊：光纖旋轉器，光纖應力監測器

高精度位移臺：

1)X/Y/Z三軸行程：≥200mm×200mm×20mm

2）X/Y/Z軸定位精度：≤±300nm

3）X/Y/Z軸雙向重復精度：≤±100nm

4）最大位移速度：≥100mm/s（X/Y軸），≥50mm/s（Z軸）

結構框架：

1)大理石龍門結構

2)被動氣浮隔振

自動卷纖機：

1)卷纖長度：＞5km

2)卷纖速度：0.5m/s

3)張力控制精度：＜0.5g

4)計米精度：＜2‰

5)自動對準精度：＜1μm

2.加工參數：

表面加工特征線寬：＜200nm

波導加工損耗：＜0.5dB/cm  

光纖光柵加工反射率：0.001%~90%可調

光纖光柵加工邊模抑制比：＞18dB

光纖光柵加工典型3db帶寬：0.2nm

光纖光柵加工中心波長偏離：≤±0.3nm