線性/垂直/升降/旋轉/角擺位移臺Lab系列

1

特殊版本

.HV，高真空版本；

.UHV，超高真空版本；

.NM，完*無磁版本；

?

2

外形尺寸

35 × 35 × 12 mm

3

主體材料

標準版，.HV，.UHV 不銹鋼：85 g；NM，純鈦；65 g

不銹鋼；85 g

4

運動行程

20 mm

5

速度范圍

默認：0.1 μm/s ~ 20 mm/s； .HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 2 mm/s

6

驅動力

典型值：2 N ；可選配：4 N

2 N

7

保持力

典型值：3 N ；可選配：5 N

8

水平方向使用*大負載

1 kg

9

豎直方向使用*大負載

默認：100 g，可選配：250 g

10

雙向位置重復精度

±100 nm

±300 nm

11

全行程俯仰/偏擺

0.3 mrad

12

最小步伐（閉環)

5 nm

100 nm

13

位置傳感器類型

光學位置傳感器

14

位置傳感器分辨率

標準版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm；

50 nm

15

線纜 & 接頭

默認：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK)

16

控制器規格

MC-Newton.S系列

1

特殊版本

.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；.NM, 完*無磁版本

無

2

外形尺寸

35 × 35 × 41 mm

35 × 35 × 41 mm

3

主體材料

標準版.HV, .UHV 不銹鋼: 250 g；.NM, 純鈦，陶瓷: 160 g

不銹鋼；250 g

4

運動行程

10 mm

10 mm

5

速度范圍

默認: 0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 1 mm/s-

6

保持力

7.5 N

7.5 N

7

水平方向使用*大負載

典型值: 500 g；可選配: 1.5 kg-

8

雙向位置重復精度

±150 nm

±300 nm

9

全行程俯仰 / 偏擺

0.3 mrad

0.3 mrad

10

最小步代 (閉環)

5 nm

100 nm

11

位置傳感器類型

光學位置傳感器

光學位置傳感器

12

位置傳感器分辨率

默認: 2 nm；可選配: 0.5 nm

50 nm

13

線纜 & 接頭

默認：屏蔽線纜 D-Sub15；.UHV 版本: Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK)-

14

控制器規格

MC-Newton.S 系列

MC-Newton.S 系列

特殊版本

.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；.NM, 完*無磁版本

無

外形尺寸

65 × 65 × 13 mm

65 × 65 × 13 mm

主體材料

標準版 鋁合金，鋼：160 g；.HV, .UHV 純鈦，鋼：260 g；.NM, 純鈦，陶瓷：110 g

鋁合金，鋼：160 g

運動行程

30 mm

30 mm

速度范圍

默認: 0.1 μm/s ~ 20 mm/s；.HV & .UHV 版本: 0.1 μm/s ~ 2 mm/s

驅動力

典型值: 2 N；可選配: 4 N

保持力

典型值: 3 N；可選配: 5 N

水平方向使用*大負載

2 kg

豎直方向使用*大負載

默認: 100 g；可選配: 250 g

雙向位置重復精度

± 100 nm

± 300 nm

全行程俯仰/偏擺

0.3 mrad

0.3 mrad

最小步伐 (閉環)

5 nm

100 nm

位置傳感器類型

光學位置傳感器

光學位置傳感器

位置傳感器分辨率

標準版本 2 nm；adv 版本 0.5 nm

50 nm

線纜 & 接頭

默認: 屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本: Kapton漆包線, D-Sub15 (PEEK)

控制器規格

MC-Newton.S系列

1. 特殊版本

.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*無磁版本

無

2. 外形尺寸

65 × 65 × 44 mm

65 × 65 × 44 mm

3. 主體材料

標準版 鋁合金，鋼：310 g；.NM 純鈦，陶瓷：270 g；.HV .UHV 純鈦，鋼：500 g

鋁合金，鋼：310 g

4. 運動行程

10 mm

10 mm

5. 速度范圍

默認：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 1 mm/s

-

6. 保持力

7.5 N

7.5 N

7. 水平方向使用*大負載

典型值：500 g；可選配：1.5 kg

-

8. 雙向位置重復精度

± 150 nm

± 300 nm

9. 全行程俯仰 / 偏擺

0.3 mrad

0.3 mrad

10. 最小步優（閉環）

5 nm

100 nm

11. 位置傳感器類型

光學位置傳感器

光學位置傳感器

12. 位置傳感器分辨率

標準版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm

50 nm

13. 線纜 & 接頭

默認：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapon 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

-

14. 控制器規格

MC-Newton.S 系列

MC-Newton.S 系列

1. 特殊版本

.HV，高真空版本；

.UHV，超高真空版本；

.NM，完*無磁版本

2. 外形尺寸

80 × 80 × 40 mm

3. 主體材料

標準版 鋁合金，鋼：720 g；

.HV .UHV 純鈦，鋼：840 g；

.NM 純鈦，陶瓷：640 g

4. 運動行程

10 mm

5. 速度范圍

默認：0.1 μm/s ~ 3 mm/s；

.HV & .UHV 版本：推薦使用 0.3 mm/s

6. 保持力

15 N

7. 水平方向使用*大負載

典型值：1 kg；可選配：3 kg

8. 雙向位置重復精度

± 150 nm

9. 全行程俯仰 / 偏擺

0.3 mrad

10. 最小步優（閉環）

5 nm

11. 位置傳感器類型

光學位置傳感器

12. 位置傳感器分辨率

標準版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm；經濟版本 .E 50 nm

13. 線纜 & 接頭

默認：屏蔽線纜 D–Sub15；

.UHV 版本：Kapon 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

14. 控制器規格

MC-Newton.S 系列

1. 特殊版本

.HV，高真空版本；

.UHV，超高真空版本；

.NM，完*無磁版本

2. 外形尺寸

105 × 105 × 20 mm

3. 主體材料

標準版 鋁合金，鋼：630 g；

.HV .UHV 純鈦，鋼：910 g；

.NM 純鈦，陶瓷：770 g

4. 運動行程

60 mm（加長版本*高可至 200 mm）

5. 速度范圍

默認：0.1 μm/s ~ 20 mm/s；

.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 2 mm/s

6. 驅動力

3 N

7. 保持力

5 N

8. 水平方向使用*大負載

4 kg

9. 雙向位置重復精度

±100 nm

10. 全行程俯仰 / 偏擺

0.2 mrad

11. 最小步優（閉環）

5 nm

12. 位置傳感器類型

光學位置傳感器

13. 位置傳感器分辨率

標準版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm；經濟版本 .E 50 nm

14. 線纜 & 接頭

默認：屏蔽線纜 D–Sub15；

.UHV 版本：Kapon 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

15. 控制器規格

MC-Newton.S 系列

1. 特殊版本

.HV，高真空版本；

無

.UHV，超高真空版本；

.NM，完*無磁版本

2. 外形尺寸

35 × 35 × 11 mm

35 × 35 × 11 mm

3. 中通直徑

Φ 5 mm

Φ 5 mm

4. 轉盤直徑

Φ 33.5 mm

Φ 33.5 mm

5. 主體材料

標準版、.HV、.UHV：鋼，70 g；

鋼：70 g

.NM：純鈦，陶瓷，90 g

6. 運動行程

360° 連續運動

360° 連續運動

7. 速度范圍

默認：0.0005°/s ~ 45°/s；

.HV & .UHV 版本：推薦使用 4.5°/s

8. *大負載（底座水平放置）

500 g

500 g

9. 保持力矩

0.05 N·m

0.05 N·m

10. 驅動力矩

0.02 N·m

0.02 N·m

11. 最小步優

3 μrad

10 μrad

12. 雙向重復定位精度

± 7.5 μrad

± 25 μrad

13. 位置傳感器類型

光學位置傳感器

光學位置傳感器

14. 位置傳感器分辨率

標準版本：0.2 μrad；

3 μrad

經濟版本 .E：3 μrad

15. 線纜 & 接頭

默認：屏蔽線纜 D–Sub15；

.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

16. 控制器規格

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列

1. 特殊版本

.HV，高真空版本；

無

.UHV，超高真空版本；

.NM，完*無磁版本

2. 外形尺寸

65 × 65 × 13 mm

65 × 65 × 13 mm

3. 中通直徑

Φ 25.4 mm

Φ 25.4 mm

4. 轉盤直徑

Φ 62 mm

Φ 62 mm

5. 主體材料

標準版 鋁合金，鋼：120 g；

鋁合金，鋼：120 g

.HV，.UHV 純鈦，鋼：170 g；

.NM 純鈦，陶瓷：120 g

6. 運動行程

360° 連續運動

360° 連續運動

7. 速度范圍

默認：0.0005 °/s ~ 25 °/s；

.HV & .UHV 版本：推薦使用 2.5 °/s

8. *大負載（底座水平放置）

1 kg

1 kg

9. 保持力矩

0.1 N·m

0.1 N·m

10. 驅動力矩

0.04 N·m

0.04 N·m

11. 最小步伐

3 μrad

10 μrad

12. 雙向重復定位精度

± 5 μrad

± 20 μrad

13. 位置傳感器類型

光學位置傳感器

光學位置傳感器

14. 位置傳感器分辨率

標準版本：0.07 μrad；

2 μrad

經濟版本 .E：2 μrad

15. 線纜 & 接頭

默認：屏蔽線纜 D–Sub15；

.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

16. 控制器規格

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列

1. 特殊版本

.HV，高真空版本；

.HV，高真空版本；

.UHV，超高真空版本；

.UHV，超高真空版本；

.NM，完*無磁版本

.NM，完*無磁版本

2. 外形尺寸

35 × 35 × 20 mm

35 × 35 × 20 mm

3. 主體材料

標準版、.HV、.UHV：不銹鋼：250 g；

標準版、.HV、.UHV：不銹鋼：250 g；

.NM：純鈦，陶瓷：90 g

.NM：純鈦，陶瓷：90 g

4. 運動行程

± 8°

± 8°

5. 搖擺半徑

35 mm（距離臺面距離）

55 mm（距離臺面距離）

6. 速度范圍

默認：0.0005°/s ~ 3°/s；

默認：0.0005°/s ~ 3°/s；

.HV & .UHV 版本：推薦使用 0.3°/s

.HV & .UHV 版本：推薦使用 0.3°/s

7. *大負載

1 kg

1 kg

8. 保持力矩

0.2 N·m

0.2 N·m

9. 驅動力矩

0.07 N·m

0.07 N·m

10. 最小步優（閉環）

2 μrad

2 μrad

11. 雙向重復定位精度

± 10 μrad

± 10 μrad

12. 位置傳感器類型

光學位置傳感器

光學位置傳感器

13. 位置傳感器分辨率

0.05 μrad

0.03 μrad

14. 線纜 & 接頭

默認：屏蔽線纜 D–Sub15；

默認：屏蔽線纜 D–Sub15；

.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

15. 控制器規格

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列

1. 特殊版本

.HV，高真空版本；

.HV，高真空版本；

.UHV，超高真空版本；

.UHV，超高真空版本；

.NM，完*無磁版本

.NM，完*無磁版本

2. 外形尺寸

70 × 70 × 20 mm

70 × 70 × 20 mm

3. 主體材料

標準版 鋁合金：310 g；

標準版 鋁合金：310 g；

.HV 純鈦，鋼：310 g；

.HV 純鈦，鋼：310 g；

.UHV 純鈦，鋼：430 g；

.UHV 純鈦，鋼：430 g；

.NM 純鈦，陶瓷：290 g

.NM 純鈦，陶瓷：290 g

4. 運動行程

± 10°

± 10°

5. 搖擺半徑

77 mm（距離臺面距離）

97 mm（距離臺面距離）

6. 速度范圍

默認：0.0005°/s ~ 3°/s；

默認：0.0005°/s ~ 3°/s；

.HV & .UHV 版本：推薦使用 0.3°/s

.HV & .UHV 版本：推薦使用 0.3°/s

7. *大負載

2 kg

2 kg

8. 保持力矩

0.4 N·m

0.4 N·m

9. 驅動力矩

0.15 N·m

0.15 N·m

10. 最小步伐

1 μrad

1 μrad

11. 雙向重復定位精度

± 7.5 μrad

± 7.5 μrad

12. 位置傳感器類型

光學位置傳感器

光學位置傳感器

13. 位置傳感器分辨率

0.02 μrad

0.02 μrad

14. 線纜 & 接頭

默認：屏蔽線纜 D–Sub15；

默認：屏蔽線纜 D–Sub15；

.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

15. 控制器規格

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列