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當前位置：藝微勝科技（上海）有限公司>>半導體應用>>高精密烤膠機設備>> HPT-L7高精密烤膠機
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 能源,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,綜合 |
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▍產品簡介
藝微勝 HPT-L7高精密烤膠機面向半導體、微納制造、光電等領域的研發與中試需求，采用陽極氧化鋁加熱面板，具備出色的耐腐蝕性與熱均勻性。集成多段控溫、觸控操作、無接觸式熱處理等功能，支持對多規格晶圓的熱處理，尤其適用于高潔凈、高穩定性的涂膠前后工藝場景。
▍技術特點
1、高精度熱控系統：溫控范圍覆蓋室溫至250℃，分辨率0.1℃，溫度均勻性±2%，確保關鍵工藝穩定性。
2、無接觸式烤膠功能：可調頂針高度（0–30mm），滿足對敏感基片的非接觸式熱處理需求。
3、多段程序控制：支持最多12段溫控設定，適應復雜熱處理流程。
4、智能化操作系統：7英寸全彩觸摸屏配合PLC控制，操作直觀，參數實時管理。
5、安全與維護便捷性：內置防過熱保護，支持定時升降取片；鏡面不銹鋼外殼，防塵美觀，易于清潔。
▍技術參數
▍典型應用
高精密烤膠機適用于對溫控精度與熱均勻性要求嚴格的科研與中試環境，廣泛應用于光刻預烘/后烘、微納結構與薄膜器件熱處理、MEMS/OLED/柔性電子等對無接觸熱處理有特殊要求的工藝，以及材料研發與優良封裝中的控溫實驗。
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