X射線能譜儀/近常壓光電子成像設備 返回列表頁

近常壓X射線光電子能譜儀技術參數：

1.近常壓XPS真空系統，包含分析腔和快速進樣腔

1.1分析腔采用μ金屬腔體或不銹鋼腔體加消磁線圈

1.2分析腔配備分子泵以及前級泵，真空≤5×10-9mbar

1.3快速進樣腔采用不銹鋼腔體

1.4快速進樣腔配備分子泵和前級泵，真空≤5×10-8mbar

2.電子能量分析器

2.1半球型，平均半徑150mm

2.2四級差分抽氣系統，一級和二級差分抽氣之間配有閥門，可以實現真空腔體進氣時保證分析器的真空度

2.3工作壓力最大可達25mbar

2.4分析器接收角：≥44o

2.5工作距離：300-500μm

2.6八個入口狹縫，三個出口狹縫

2.7能量分辨率：≤10meV

2.8探測能量范圍可達3.5keV

2.9Ag 3d峰計數率（在Al靶X光源束斑≤250μm，20W條件下）：≥70kcps在UHV條件；≥7kcps在10mbar N2條件；≥0.5kcps在25mbar N2條件

2.10配有一維探測器（ADCMOS）

3.單色化陽極靶微聚焦X射線光源

3.1類型：單色化Al/Ag/Cr三陽極靶

3.2工作范圍：10-10 –25mbar

3.3Al靶光斑尺寸：≤200μm

3.4Al靶光通量≥1.0x1010photons/s；Ag靶光通量≥1.0x109photons/s，Cr靶光通量≥1.0x1010photos/s

3.5配有差抽系統

3.6配套水冷機組，最大水壓可達9bar

4.近常壓X射線光電子能譜儀進氣氣路

4.1配有三路進氣管路系統，配備質量流量計，用于氣體通入

4.2帶有自動壓力控制，壓力范圍：1-30mbar

5.分析腔四軸全自動樣品架

5.1四軸樣品架移動范圍：

X=±12.5mm

Y=±12.5mm

Z方向范圍隨系統配置

P=±180°polar（極角）

5.2四軸全自動化馬達

5.3配備150W紅外激光加熱器，在25mbar N2條件下，樣品溫度最高可達1000℃

5.5配有液氮冷卻，樣品溫度可到150K

6. 紫外光源

6.1束流密度＞2x1016 photons/(sec x sterad)

6.2能量分辨率：FWHM＜2meV

6.3可用氣體：He、Ne、Ar等

6.4樣品上束斑尺寸：＜500μm

6.5可在近常壓環境下進行UPS測試