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當前位置：上海麥科威半導體技術有限公司>>光譜儀>>深能級瞬態譜儀>> FT1230深能級瞬態譜儀/德國PhysTech/DLTS
高能分辨率深能級瞬態譜（DLTS）
PhysTech在1990年推出了一臺數字DLTS，隨著電腦技術的發展，使得在短時間內進行復雜計算成為可能。在純指數發射過程模型的基礎上，用各種數學模型分析測量到的瞬態過程，如傅里葉轉換、拉普拉斯轉換、多指數瞬態擬合、ITS（等溫瞬態光譜）信號重疊法、溫度掃描信號重疊法（重折疊）。與其他系統相比，HERA-DLTS具有能量分辨率。
半導體的摻雜濃度、缺陷能級位、界面態(俘獲界面)是研究半導體性質的重要手段。此設備根據半導體P-N 結、金－半接觸結構肖特基結的瞬態電容（△C～t）技術和深能級瞬態譜（DLTS）的發射率窗技術測量出的深能級瞬態譜，是一種具有很高檢測靈敏度的實驗方法，能檢測半導體中微量雜質、缺陷的深能級及界面態。通過對樣品的溫度掃描，可以給出表征半導體禁帶范圍內的雜質、缺陷深能級及界面態隨溫度（即能量）分布的DLTS 譜。
特點：
操作模式：
規格：
Options
Constant Capacitance
Optical Excitation
Fast Pulse Interface
±100 V Option
Multi Sample Interface
C-DLTS
CC-DLTS
I-DLTS
DD-DLTS
Zerbst-DLTS
O-DLTS
FET-Analysis
MOS-Analysis
ITS（等溫瞬態光譜儀）
缺陷分析
俘獲截面測量
I/V, I/V(T)理查森標繪圖
C/V, C/V(T)
TSC/TSCAP
PITS（光子誘導瞬態譜）
DLOS(特殊系統)
自動接觸檢查
常規測試和加強軟件
自動電容補償
三終端FET電流瞬態測量
大電容和濃度范圍
靈活性高、模塊化硬件
支持各種冷卻倉和溫度控制器
傅里葉轉換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能
DLTFS（深層瞬態傅里葉光譜儀）評價
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