8寸快速退火爐/德國UniTemp 返回列表頁

RTP-200快速退火爐為德國優尼坦公司生產，分為RTP-100，RTP-150，RSO-200，VPO-300共四個型號，分別對應4英寸、6英寸、8英寸、12英寸的真空快速退火爐產品。

8寸快速退火爐/德國UniTemp技術規格：

- 溫度：1200攝氏度；

- 升溫速率：150攝氏度/秒；

- 降溫速度：200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度)；

- 溫控均勻性：≤1.5%設定溫度；

- 加熱方式：紅外鹵素燈，頂部及底部加熱；

- 燈管數量及功率：18支/20千瓦(RTP-100)，24支/21千瓦(RTP-150)；

- 腔體冷卻：水冷方式；

- 襯底冷卻：氮氣吹掃；

- 工藝氣路：MFC控制，最多4路 (氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等)；

- 主機尺寸及重量：505mmx504mmx420mm (WxDxH)，約55Kg。

8寸快速退火爐/德國UniTemp特點：

- 真空快速退火爐，有低真空型號(10-3hPa)、高真空型號(10-6hPa)；

- 可在不同氣氛環境下使用，如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等；

- 控制方式：SIMATIC，SPS人機界面控制，7英寸觸摸屏；

- 可存儲50個程序，每個程序最多分為50段控制；

- 全自動智能控制，包括溫度、時間、氣體流量、真空度、循環水均可自動設置；

- 優異的溫控均勻性，工藝重現性；

- 小尺寸臺式設計。

應用領域：

- 離子注入/接觸退火；

- 快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；

- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環境下使用；

- SiAu，SiAl，SiMo合金化；

- 低介電材料；

- 晶體化，致密化；

- 太陽能電池片鍵合。