目錄:深圳市達瑞博電子有限公司>>量測>>電子束量測>> S-9300臨界尺寸掃描電子顯微鏡
| 產地類別 | 進口 | 放大倍數 | 1000 至 >300000x |
|---|---|---|---|
| 加速電壓 | 0.5-1.6kV | 價格區間 | 700萬-1500萬 |
| 應用領域 | 電氣,綜合 |
Hitachi S-9300 是一款 CD SEM（臨界尺寸掃描電子顯微鏡）
用于測量半導體工藝中的精細圖案尺寸.
以下是主要規格：
制造商： Hitachi
型號： S-9300
晶圓尺寸：200mm
電子光學系統：
電子槍：肖特基發射源
加速電壓：500V至1600V，10V步進
探頭電流：4~24pA，通過法拉第杯自動設置和測量
電磁透鏡：帶升壓電壓的 3 級電磁透鏡系統
物鏡：4 個開口咔嗒停止，加熱孔徑可在真空外選擇/調節
掃描線圈：2級電磁偏轉
散光校正：通過 8 極電磁線圈
放大倍率：1000 倍至 >300000 倍
現場控制方法：在所有電壓下連續開啟樣品放電
晶圓成像能力：8英寸（或12英寸）晶圓的整個表面
景深：80000倍放大倍率下>= 1.0um
分辨率：3nm （800V） 緩速/升壓模式
光學顯微鏡系統：
圖像：單色，使用CCD相機
放大倍率：110倍
晶圓成像：X 覆蓋范圍為 5 – 295mm，Y 覆蓋范圍為 5 – 195mm，缺口向下
視場角：1.2mm
工作站型號： HP B180L （9GB）
操作系統：Unix 版本 HP-UX 10.20 或更高版本
軟件版本：14.71 或更高版本
它還配備了激光干涉儀平臺，可實現超高目標尋址精度、迷你環境和兼容 FOUP 的負載端口.可以支持高級自動化場景，例如通過自動物料搬運系統（AMHS）進行FOUP交付和單個晶圓識別.
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