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微型真空探針臺設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

一、應用領域：東北供應微型真空探針臺主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

二、作用原理：有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

三、微型真空探針臺技術參數：

溫控器
加熱溫度	35-400℃ 注意：熱臺溫度和樣品溫度存在偏差客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應分度值做校準。
溫控誤差	±1℃
熱電偶類型	PT100高精度傳感器
溫控表	宇電PID溫控器
程序控溫	1段（可選30段程序控溫表）
加熱功率	≤300W
加熱電源	AC220v
尺寸	230x230x125MM
重量	6kg
真空探針熱臺
腔體材質	304不銹鋼
加工方式	一體式CNC精加工
內腔體尺寸	137X57X21mm 容積165ML
加熱臺尺寸	Φ35mm
觀察窗內徑	Φ45mm
觀察窗材質	高透光石英玻璃
信號輸出頭	SMA母頭配線 SMA轉BNC 1.5米
電學性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V
抽氣口	KF16
進氣口	6MM卡套
使用正壓	≤O.05MPa
使用負壓	機械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa
可擴展配件	氣體液體注射口 4芯電信號接頭 8芯電信號接頭 SMA905 光纖接口擴展5KV高壓電極升級30段控溫儀表
移動探針
探針規格	探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm
上下移動距離	2.5mm
前后移動距離	±10mm
左右旋轉距離	120°