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    潔凈系列 調速閥

    參  考  價面議
    具體成交價以合同協議為準

    產品型號10-AS2211FG-01-08SA

    品       牌SMC/日本

    廠商性質經銷商

    所  在  地上海市

    更新時間:2026-03-02 18:41:06瀏覽次數:45次

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    應用領域 綜合
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    潔凈調速閥(潔凈室專用氣動 / 流體調速閥),涵蓋定義、原理、核心特性、材質結構、典型型號、應用場景與選型要點。

    一、產品定義與工作原理

    1. 定義:潔凈調速閥是專為 Class 1~1000 級潔凈室(半導體、生物醫藥、食品等)設計的、兼具精密流量 / 速度控制超低發塵、無污染物釋放的氣動元件;通常為壓力補償型,可在負載 / 氣壓波動下維持穩定流量,同時滿足 ISO 14644 潔凈度與相關行業防污染標準。

    2. 核心原理

      • 基礎:由節流針閥 + 壓力補償機構組成,補償器自動維持節流口兩端壓差恒定,使流量僅取決于針閥開度,與進出口壓力波動無關;

      • 潔凈強化:無多余潤滑脂、采用低發塵材質與密封,結構、可沖洗,避免粉塵脫落或化學析出;部分帶單向閥,實現 “調速 + 快速回位" 雙功能。

    二、核心結構與材質

    • 閥體:316L 不銹鋼、特殊潔凈級工程塑料(PBT、PPS),嚴禁銅離子 / 硅 / 鹵素析出(半導體用 P74 級);

    • 密封件:全氟醚(FFKM)、EPDM,無硅油、低溶出;

    • 調節機構:防脫落旋鈕 + 鎖緊,多圈精細調節,避免誤觸;

    • 表面處理:電解拋光、無電解鍍鎳,無顆粒附著點;

    • 包裝與清洗:潔凈室專用包裝,出廠經 ISO 14644-1 認證清洗,部分提供粒子與分子污染物檢測報告。

    三、關鍵性能與優勢

    1. 超低發塵:發塵量≤10 particles/ft3(0.3μm 以上),符合 SEMI F57、ISO 14644-1;

    2. 流量穩定:壓力補償,0.1~0.7MPa 范圍內流量波動 < 3%;

    3. 耐腐蝕 / 兼容:耐化學品、去離子水,無金屬離子析出;

    4. 安裝靈活:直型 / 彎型,快插 / 螺紋接口(Rc、NPT、Φ4/6/8 氣管),多方位安裝;

    5. 高壽命:密封與閥芯耐磨,插拔 / 調節次數達百萬次。

    四、典型應用領域

    1. 半導體 / 微電子:晶圓搬運機械臂、真空室氣動閥門、光刻設備氣路調速;

    2. 生物醫藥:無菌制藥生產線、生物反應器、凍干機氣動執行器;

    3. 食品飲料:潔凈灌裝線、無菌包裝設備;

    4. 光學 / 精密儀器:鏡頭組裝、激光設備氣動微調。

    五、選型與使用要點

    1. 潔凈等級:按潔凈室等級選 P70(普通潔凈)/P74(半導體嚴苛級);

    2. 接口與流量:確認氣管外徑 / 螺紋、流量(ANR L/min);

    3. 節流方向:進氣節流(防沖出)/ 排氣節流(穩速)/ 雙向;

    4. 環境條件:溫度(通常 0~60℃)、介質(壓縮空氣需 Class 1 潔凈干燥);

    5. 維護:嚴禁使用含硅潤滑脂,定期用異丙醇擦拭,避免粉塵堆積。

    六、與普通調速閥的核心區別

    普通調速閥以成本和通用為導向,潤滑脂含硅、材質易析出、發塵量大;潔凈調速閥在材質、清洗、密封、檢測、包裝全流程遵循潔凈標準,是高潔凈度生產線的必需元件。

    潔凈系列 調速閥

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