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當前位置：廣州領拓儀器科技有限公司>>澤攸科技掃描電鏡&臺階儀>>臺階儀>> 手動臺階儀 JS10B
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 建材/家具,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
• 產品介紹：
澤攸科技JS系列臺階儀作為國產高精度表面測量設備的代表，憑借其創新的技術架構、靈活的應用場景及可靠的測量性能，可以對微納結構進行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域有著廣泛應用。
JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉化為電信號，結合高靈敏度傳感器與信號處理算法，實現納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術亮點在于超微壓力恒定控制系統，通過精密調節探針與樣品間的接觸壓力，既避免了對軟質材料的損傷，又確保了測量過程的穩定性。此外，設備搭載的攝像頭實時成像系統，可同步觀察樣品區域與探針的位置關系，輔助用戶精確定位特征結構，顯著提升測量效率。
作為國產科學儀器的突破性成果，JS系列臺階儀打破了國外品牌在表面測量設備領域的長期壟斷，憑借高性價比與本地化服務優勢，成為國內高校、科研機構及制造企業的優選設備。
• 特點：
量測精確、操作便捷、體積小巧、高性價比
• 應用范圍：
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量
▲ 各式薄膜等應力測量
• 系統組成
▲ 臺階儀主機
▲ 電腦及顯示器
• 選配品
▲ 隔振臺
▲ 高度校準標樣
• 技術參數
JS10B | |
樣品 | 單片（厚度≤10mm） |
樣品尺寸 | ≤150mm |
樣品材質 | 硅、鉭酸鋰、玻璃等（不透明，半透明） |
重復性測量偏差 | ≤0.5nm（1σ 1um標準塊重復掃描30次） |
最大測量范圍 | 80um |
垂直分辨率 | 0.05nm 滿量程 |
探針加力范圍 | 0.5~50mg |
力控制 | 恒定 |
采樣速度 | 200Hz |
掃描方向 | 左右雙向 |
掃描最大采集點數 | 200萬點 |
掃描速度 | 5um/s - 100um/s |
樣品臺運動方式 | 可實現水平（X/Y），旋轉（RZ），手動控制 |
XY樣品臺行程 | 150mm（快慢速調節） |
Z樣品臺行程 | 10mm |
樣品旋轉臺 | ±360° |
標準探針 | 曲率半徑≥2um 角度60°（標配） |
亞微米探 | 曲率半徑≤1um 角度60°（選配） |
軟件功能 | 臺階、粗糙度等表面形貌測量，應力測量 |
• 軟件界面
• 掃描圖
18nm樣品
68um樣品
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