納米探針臺

Kleindiek納米探針臺是基于SEM/FIB的材料，半導(dǎo)體器件的電學(xué)性能表征系統(tǒng)。納米級微操縱器和相關(guān)的探針軟硬件模塊組合提供多功能的納米探測的解決方案，用于半導(dǎo)體器件故障分析和穩(wěn)定微弱電流的測量。

Kleindiek微納米操縱儀是安裝在掃描電子顯微鏡內(nèi)用于實(shí)現(xiàn)微納米材料/器件的操縱或是實(shí)現(xiàn)對于納米材料/器件的電流測量及材料機(jī)械性能的測試（選配插件 FMS-EM） 。

微納米操縱儀， 在 SEM 電鏡樣品室內(nèi)像一只或多只靈活的"手“。 主要功能包括：

（1） 在SEM 電鏡觀察過程中樣品的原位操縱， 搬移等；

（2） 在雙束離子刻蝕系統(tǒng)中通過操縱儀和微鑷子（選配插件 MGS2-EM） 提取雙束系統(tǒng)制備的 TEM 薄片樣品；

（3） 通過選配EBIC 放大器， 對樣品做 EBIC/EBAC/RCI 等成像， 實(shí)現(xiàn)微納米材料/器件的 PN 結(jié)觀測， 電阻變化定位， IC 開路探測， 失效分析等功能。

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