簡單介紹下桌面式自動膜厚儀的工作原理

 

1.接觸式（機械探針法）

 

這是最基礎的原理。儀器的高精度探針緩慢接觸樣品表面，從基底移動到膜層上方，通過探針感知的高度差，直接測量膜層的實際厚度。優點是精度高，適合厚膜（如金屬膜、涂層），但可能會輕微損傷樣品表面。

 

2.光學式（反射/折射法）

 

利用光的反射或干涉特性工作，也是桌面式非常常用的類型。光線照射到膜層表面后，會同時發生膜層上表面反射和膜層與基底界面反射，兩束反射光產生干涉條紋。儀器通過分析干涉條紋的間距、強度等參數，結合膜層的光學折射率，自動計算出膜厚。適合薄膜（如光學膜、半導體薄膜），非接觸式不會損傷樣品。

 

3.渦流感應法

 

主要針對導電膜層（如金屬膜）。儀器的探頭產生交變磁場，當磁場靠近導電膜層時，會在膜層內產生渦流，渦流又會反過來影響探頭的磁場強度。膜厚不同，渦流強度也不同，儀器通過檢測磁場變化量，自動換算出膜層厚度。適合金屬膜、導電涂層的快速檢測，非接觸且效率高。