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當前位置：江蘇神州半導體科技股份有限公司>>射頻電源（RF）>> MKS LVF3560AMKS 高頻射頻電源 LVF3560A 60MHz 3500W
MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator
DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | LVF3560A-10B-05 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
MKS 高頻射頻電源 LVF3560A 60MHz 3500W RF Generator是經過長期驗證的具有穩定輸出能力的高性能高頻射頻電源，能夠實現對射頻輸出的精準控制。MKS LVF系列射頻電源有優秀的成膜能力，廣泛的應用在半導體制程的薄膜工藝中。MKS 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優秀的可靠性。
MKS 高頻射頻電源 LVF3560A 60MHz 3500W 參數規格
設備品牌：MKS
設備型號：LVF3560A
AC 電源輸入：3 phase~ /PE，200~208V，30A，50/60Hz
RF 射頻輸出：60MHz，3500W
通信接口：Analog I/O，RS-232C，Remote Panel
設備散熱：水冷散熱
水冷進水需求：水冷流速 2gal/min（7.5L/min），水流溫度 5℃~35℃，MAX水冷壓力 60PSI/414kPa
設備重量：32kg（70lbs）
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