氣濕敏材料壓力控制系統(tǒng)

1、濕敏傳感器如何在不同壓力或濕度的情況下精準(zhǔn)控制器件的電阻、電容？

首先，測(cè)試濕度傳感器需要用到氣體加濕設(shè)備，濕度控制器是通過質(zhì)量流量計(jì)控制氣體流量計(jì)，混合飽和蒸汽壓和干空氣，精確控制5-95%RH濕度，來精準(zhǔn)測(cè)試器件在不同濕度環(huán)境下的電信號(hào)。

加濕氣體出來后通入到真空探針臺(tái)內(nèi)，內(nèi)置傳感器器件，探針接觸傳感器的PAD或者電極上，外接電信號(hào)測(cè)試設(shè)備。傳感器在接觸濕度氣體后，電阻/電容的電學(xué)信號(hào)會(huì)因?yàn)椴煌臐穸犬a(chǎn)生變化。再通過電信號(hào)測(cè)試設(shè)備顯示出實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。

2、如果要控制腔體內(nèi)水分子的數(shù)量應(yīng)該怎么控制呢？

在溫度恒定、且達(dá)到平衡狀態(tài)的情況下，腔體內(nèi)水分子含量（更準(zhǔn)確地說，水蒸氣分壓）是固定的。但如果溫度變化，或者系統(tǒng)未達(dá)平衡，含量就會(huì)改變。我們只需要改變腔體內(nèi)的壓力大小就可以控制腔體內(nèi)的水蒸氣分壓。

通過在探針臺(tái)真空接口處增加一套壓力控制系統(tǒng)，使其可以控制壓力的評(píng)分范圍，以及需要測(cè)試的水蒸氣分壓范圍，在濕度控制運(yùn)行的時(shí)候，就可以實(shí)現(xiàn)在只控制壓力的情況下，保證腔體內(nèi)的水蒸汽分壓保持平衡，且濕度設(shè)備上顯示濕度也會(huì)逐漸平穩(wěn)，電信號(hào)測(cè)試設(shè)備也會(huì)逐步達(dá)到平衡，濕敏傳感器測(cè)試結(jié)果也會(huì)更加準(zhǔn)確。