PECVD?旋轉等離子加強CVD系統

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具體成交價以合同協議為準

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品牌 CYKY
型號 CY-PECVD60R-1200-Q
廠商性質 生產商
所在地 鄭州市

屬性

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更新時間：2025-11-17 07:26:21瀏覽次數：206評價

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產品簡介

本產品為PECVD?旋轉等離子加強CVD系統。PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

詳細介紹

PECVD旋轉等離子加強CVD系統，爐管采用變徑設計，中部管徑較粗且有有混料隔板，能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合，通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉，使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果；設備另配有等離子發生裝置，采用電感耦合與爐管連接，產生的等離子能夠滿布爐管，有效的提高反應物活化能，降低反應溫度，提高反應效率。設備配有三路質量流量計及混氣裝置，可用于向路管內通入多種氣體，同時設備配有高性能機械泵，能夠快速將爐管抽至真空；通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

PECVD應用領域：

1.微電子與半導體工業，介質薄膜　低k介質　多晶硅/非晶硅薄膜

2.光伏（太陽能電池）工業，氮化硅減反射鈍化膜　非晶硅/微晶硅薄膜太陽能電池

3.顯示技術（LCD/OLED），薄膜晶體管（TFT）陣列制造

4.光學領域，光學薄膜

PECVD優點:
1.沉積溫度低

2. 薄膜質量高

3. 良好的臺階覆蓋性和溝槽填充能力

4. 沉積速率較快

5. 廣泛的材料體系

PECVD旋轉等離子加強CVD系統技術參數：

雙溫區管式爐	產品型號	CY-PECVD60R-1200-Q
	設備功率	3KW
	爐管材質	高純石英
	爐管尺寸	Φ60420+Φ100360+Φ60*420mm（石英異型管）
	爐膛長度	440mm
	加熱區長	200mm+200mm
	工作溫度	0～1150℃
	極限溫度	1200℃
	控溫精度	±1℃
	熱電偶類型	K型熱電偶
	控溫模式	30段程序控溫，PID參數自整定
	顯示模式	高清全彩LCD觸控屏
	密封方式	304不銹鋼真空法蘭
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
	旋轉速度	0~13rpm
	傾斜角度	0~35°
3路質量流量計	產品型號	CY-3Z
	氣路數量	3路
	流量計類型	質量流量計
	測量范圍	A路：0~100sccm; B路：0~200 sccm; C路：0~500 sccm
	測量精度	±1.5%
	工作壓差	0.1~0.5MPa
	管路接口	1/4英寸卡套接頭
	供電	AC220V 50/60Hz
真空系統	真空泵	雙極旋片泵
	抽速	1.1L/s
	抽氣接口	KF16
	泵極限真空度	10E-1Pa
	供電	AC220V 50/60Hz
射頻電源	信號頻率	13.56MHz±0.005%
	功率輸出范圍	0~500W
	*大反射功率	100W
	射頻輸出接口	50Ω，N-Type，female
	功率穩定度	≤5W