化學(xué)進(jìn)料泵-半導(dǎo)體高純電子化學(xué)品泵

BM系列囊式計(jì)量泵是全氟流路高精度的化學(xué)進(jìn)料泵，囊式計(jì)量泵與介質(zhì)接觸的材料為PFA、PTFE,流路不含金屬材料，常被用于半導(dǎo)體、生命科學(xué)和化工領(lǐng)域苛刻物料的輸送，如：光刻膠、氫氟酸、磷酸、鹽酸、氫氧化鉀、液態(tài)氟化氫、氫溴酸、液氯、硫酸酐、發(fā)煙硫酸、發(fā)煙硝酸、丁基鋰、格氏試劑、濃硫酸、濃磷酸等。

     BM系列囊式計(jì)量泵是三為科學(xué)推出的一款耐腐蝕、全氟流路、高精度的化學(xué)進(jìn)料泵，囊式計(jì)量泵與介質(zhì)接觸的材料為PFA、PTFE,流路不含金屬材料，同時(shí)無需軸封的設(shè)計(jì)可以防止液體泄露和外部氣體進(jìn)入。因此，囊式計(jì)量泵常被用于半導(dǎo)體、生命科學(xué)和化工領(lǐng)域苛刻物料的輸送，如：光刻膠、氫氟酸、磷酸、鹽酸、氫氧化鉀、液態(tài)氟化氫、氫溴酸、液氯、硫酸酐、發(fā)煙硫酸、發(fā)煙硝酸、丁基鋰、格氏試劑、濃硫酸、濃磷酸等。

三為風(fēng)囊泵系列產(chǎn)品包括：

單風(fēng)囊泵：用于液體物料的單次和多次定量吐出

雙風(fēng)囊泵：用于液體物料的連續(xù)不間斷定量吐出

產(chǎn)品特點(diǎn)：

?流路接液部?jī)H由氟樹脂構(gòu)成，可輸送強(qiáng)腐蝕酸堿鹽等各種藥液

?接液部無密封圈和滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，運(yùn)行不產(chǎn)生微顆粒，無密封圈泄露風(fēng)險(xiǎn)

?無外部氣體進(jìn)入，不易產(chǎn)生電解液結(jié)晶化結(jié)構(gòu)

?可輸送高粘度物料和微量氣體物料

?絲杠傳動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)高精度連續(xù)流流體輸送

產(chǎn)品用途：

?化工領(lǐng)域高粘度高濃度強(qiáng)腐蝕物料輸送

?半導(dǎo)體工序的光刻膠及高純電子化學(xué)品輸送

?鋰離子電池等電池制造工序的電解液輸送

?生物醫(yī)藥領(lǐng)域潔凈物料輸送

?其他液體化學(xué)品或液體物料的定量輸送

電動(dòng)風(fēng)囊泵產(chǎn)品參數(shù)：