探針顯微鏡是一類基于探針與樣品表面相互作用來獲取高分辨率表面形貌及物理化學(xué)性質(zhì)信息的精密儀器，具有分辨率高、適用范圍廣、功能多樣等優(yōu)勢，在材料科學(xué)、生物學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。以下是其優(yōu)勢的具體分析：
很高的分辨率：探針顯微鏡可以達(dá)到原子級分辨率，能夠“看到”原子，這是一般顯微鏡甚至電子顯微鏡都難以達(dá)到的。如qPlus型掃描探針顯微鏡，通過針尖修飾，可實(shí)現(xiàn)氫原子和化學(xué)鍵的超高分辨成像。
適用環(huán)境廣泛：與電子顯微鏡等對工作環(huán)境要求苛刻的儀器不同，探針顯微鏡既可以在真空中工作，又可以在大氣中、低溫、常溫、高溫，甚至在溶液中使用，適用于各種工作環(huán)境下的科學(xué)實(shí)驗(yàn)。
實(shí)時(shí)成像：探針顯微鏡能夠得到實(shí)時(shí)的、真實(shí)的樣品表面的高分辨率圖像，而不是通過間接的或計(jì)算的方法來推算樣品的表面結(jié)構(gòu)，讓研究者可以直接觀察到樣品表面的實(shí)際情況。
功能多樣性：探針顯微鏡有多種類型和工作模式，可實(shí)現(xiàn)多種功能。例如原子力顯微鏡（AFM）有接觸模式、輕敲模式、非接觸模式等，還可結(jié)合電學(xué)測量等功能形成導(dǎo)電原子力顯微鏡（C-AFM）；此外還有磁力顯微鏡（MFM）、壓電力顯微鏡（PFM）等，可用于研究材料的磁性、鐵電性等多種物理性質(zhì)。
可進(jìn)行納米加工：探針顯微鏡的針尖曲率半徑小，與樣品之間的距離很近，在針尖與樣品之間可以產(chǎn)生一個(gè)高度局域化的場，包括力、電、磁、光等。該場會在針尖所對應(yīng)的樣品表面微小區(qū)域產(chǎn)生結(jié)構(gòu)性缺陷、相變、化學(xué)反應(yīng)、吸附質(zhì)移位等干擾，并誘導(dǎo)化學(xué)沉積和腐蝕，從而可以用于在原子、分子尺度進(jìn)行加工和操作。
對樣品損傷?。喝缭恿︼@微鏡的輕敲模式和非接觸模式，能夠減少針尖對樣品的磨損，避免直接接觸對樣品造成損傷，適用于半導(dǎo)體及生物樣品等易損樣品的研究。
